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1．有良好的脱色效果 因为臭氧具有强大的氧化分解作用，能将活性、阳离子、酸性、直接、分散等各种染料分解，获得几乎完全脱色的效果。对分解产物还有许多不了解的问题，但知道染料中的不饱和键被切断后，生成有机酸和醛。一般认为含有醌结构的染料除配基以外，其它的助色团均被分解；但对不溶于水的染料(如分散、还原、硫化、涂料等染料)的脱色效果则很差。
2．不生成污泥 同其它处理方法比较，臭氧单独处理的最大特点就是只生成分解物，而完全不生成污泥。臭氧法与其它处理法合用时，例如与凝聚法合用时，虽生成污泥，但污泥的数量要比单用凝聚法时少得多；臭氧法与活性碳吸附法合用时完全没有污泥生成。可知与臭氧法合用可大幅度地减少污泥或有可能做到无污泥化。
3．废水的PH值不需调整 因pH对臭氧的氧化分解反应的影响很小，可说在大多数情况下，废水的pH值不需调整。
4．臭氧制造出较筒单 因制造臭氧的原料是空气(或氧气)，故在任何地方都能生产。 不需考虑原料的输送贮藏与管理等问题。工本只有设备费和电费。臭氧制造因缺乏大型设备，故价格较高。最近已在大幅度降低，这对臭氧处理法的发展起着巨大的促进作用。
5．自动化和现代化 因为臭氧是用电力方法制造的，故对臭氧生产量的调整与设备的运转操作容易控制，能做到自动化和现代化。
6．臭氧处理设备与设备占地面积均小 臭氧处理废水的时间约为10一30分钟，比其它处理方法的时间短。因此处理设备可做成小型，加装到原有设备上时可提高处理效果，同时不需要扩大占地面积及变更计划。
7．不会产生二次公害 臭氧的分解物是氧， 废水中即使合有过量臭氧，在短时间内能迅速分解，尤其在浓厚污浊的废水中臭氧的分解速度大， 不会产生过剩臭氧的二次公害。
8．臭氧具有强大的杀茵作用 臭氧对任何病菌和特殊细菌都具有强大的杀菌力和阻止茵体活化的能力。对处理水的无菌化效果很好。
如将臭氧处理与凝聚法结合进行，对混合染料废水(即既有水溶性染料，也有非水溶性染料)的脱色效果，更可充分发挥。而且综合处理要比分开处理既节约药剂的用量，又提高了脱色效果。
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